單晶硅差壓變送器的工作原理是什么? |
信息來(lái)源: 差壓變送器 | 2024-03-11 點(diǎn)擊量: 547 |

隨著(zhù)科技不斷進(jìn)步,產(chǎn)品不斷更新,熱工儀表也在不斷的更新?lián)Q代。其中節流裝置的種類(lèi)更是多到讓用戶(hù)眼花繚亂,用戶(hù)不知從何處下手選擇節流裝置的類(lèi)型。今天西安華恒儀表廠(chǎng)家為廣大用戶(hù)帶來(lái)了單晶硅差壓變送器的工作原理是什么?的文章。
單晶硅差壓變送器模塊采用全焊接技術(shù),內部擁有一個(gè)整體化的過(guò)載膜片,一個(gè)壓力傳感器和一個(gè)溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過(guò)隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內的硅芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化,從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。
單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理
單晶硅差壓變送器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。
當壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。
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